Wafer aufnehmen
Aufnahmegeometrie und Zahnabstand richten sich nach Format, Dicke und Kontaktzonen der Wafer.
WAFER- & SUBSTRATHANDLING
Wafer- und Substrat-Carrier für sichere Prozessführung
Präzise Werkstückträger für Transport, nasschemische Behandlung und Trocknung.
Serien- und Sonderlösungen
Carrierkonzepte passend zu Stückzahl und Anforderung.
Prozessgerechte Entwässerung
Geometrie auf Medienabfluss und Trocknung abgestimmt.
Optimiert für das Handling
Aufnahme und Schnittstellen passend zum Transportsystem.
Werkstoffe für den Nassprozess
Materialauswahl abgestimmt auf Chemikalien und Temperatur.
Sicherer Substrathalt
Definierte Aufnahme für Transport und Prozessschritte.
ANLAGEN IM ÜBERBLICK
Carrier für Wafer und Substrate
Wafer- und Substrat-Carrier beeinflussen die sichere Aufnahme und Positionierung während Transport und Nassprozess. Geometrie, Kontaktpunkte, Entwässerung und Materialauswahl werden auf die Anwendung abgestimmt.
Zu den Wafer-Carriern qCAR Für Wafer, Substrate und Komponenten
Eine Anlage – viele Möglichkeiten.
Individuelle Carrier für Silizium, Verbindungshalbleiter, Glas und weitere Substrate.
Materialien & Substrate entdeckenPassende Produkte & Systeme
Ergänzende Lösungen für Ihren Nassprozess.
Typische Anwendungen
Von Forschung und Entwicklung bis zur industriellen Fertigung.
Waferhandling
Sichere Aufnahme einzelner Wafer oder Batches.
Substrattransport
Transport und Positionierung von Substraten.
Nassreinigung
Carrier für nasschemische Prozessschritte.
Trocknung
Werkstückträger für Trocknungsprozesse.
Automatisierte Fertigung
Anbindung an automatisierte Handlingsysteme.
Carrier für unterschiedliche Anwendungen
Substrate transportieren
Carrier halten Substrate beim Wechsel zwischen Prozessstationen in einer definierten Lage.
Nasschemisch reinigen und spülen
Werkstoff und offene Bauweise werden auf Prozessmedien und Flüssigkeitsaustausch abgestimmt.
Trocknen
Kontaktpunkte und Freiräume beeinflussen, wie Flüssigkeit abläuft und welche Flächen das Trocknungsmedium erreicht.
Automatisiert übergeben
Greifpunkte und Aufnahmen werden an Roboter, Stationen und Übergabepositionen angepasst.
Häufige Fragen
Welche Angaben sind für einen Carrier wichtig?
Wichtig sind Format, Dicke und Kontaktzonen der Substrate, die Prozessmedien sowie die Schnittstellen zu Becken und Handling.
Kann der Carrier automatisiert gehandhabt werden?
Greifpunkte und Übergabepositionen lassen sich für die vorgesehenen Stationen und das jeweilige Handlingsystem auslegen.
PERSÖNLICHE BERATUNG
Sprechen wir über Ihren Wafer- oder Substrat-Carrier
Wir stimmen Aufnahme, Werkstoff und Schnittstellen auf Ihren Prozess ab.