qRUN
Die Nassbanklösung für flexible Produktionsvolumina, von der Pilot- bis zur Massenproduktion
Die qRUN ist eine automatisierte Nassbank zur Durchführung anspruchsvoller Reinigungs- und Texturprozesse in der Zellfertigung. Sie ist für verschiedene Batchgrößen ausgelegt und gewährleistet höchste Prozessstabilität sowie Reproduzierbarkeit – von der Entwicklung bis zur Serienproduktion. Durch ihre bewährte Technik ist die qRUN weltweit im industriellen Einsatz und setzt Maßstäbe in Effizienz und Qualität. Die Prozesse laufen unter streng kontrollierten Bedingungen, um konstant saubere und gleichmäßige Oberflächen für höchste Wirkungsgrade zu erzielen.
Die Anlagen-Software steuert und überwacht sämtliche Prozessschritte, optimiert über ein intelligentes Scheduling-System den Anlagenbetrieb und sorgt so für maximalen Durchsatz bei gleichzeitig hoher Prozesssicherheit und Rückverfolgbarkeit.
Erhältlich für verschiedenste Durchsatzmengen
- 50 voll quadratische Wafer pro Batch
- 100 voll quadratische Wafer pro Batch
- 200 voll quadratische Wafer pro Batch
- 400 voll quadratische Wafer pro Batch
- 600 voll quadratische Wafer pro Batch
Innovative Software
- Batch scheduling für maximalen Durchsatz
- Individuelle Rezeptverwaltung
- Konfigurierbare Trendauswertung
- Benutzerverwaltung
- Alarmmanagement
- MES ready
Einzigartige Funktionen
- Dynamischer Carrierbuffer in der Be- und Entladestation
- Umsetzsystem mit Sprühfunktion
Einfache FAB-Integration
- Integrierte Schaltschränke
- Integrierter O3-Generator
- Integrierte Hebepumpen
- Modulares Konzept mit geringem Platzbedarf
Von Anfang an international – die ersten exateq-Nassbänke gingen 2015 nach Taiwan
Zwei automatische Nassbänke für die Texturierung von Solarwafern. Der Bericht zeigt, welche Rolle KOH und Texturadditive spielten und was exateq bei der Inbetriebnahme vor Ort lernte.
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